제품 개요
- 기능
Glass 막 두께 차이 자동 검사 후 얼룩 위치 검사
- 설비구성
• Frame
• Loading/Unloading
• Stage
• 카메라 및 조명
• Air Floating
• Centering
• Cover
제품 특장점
• 적용가능한 모델: 2G~10G
• Glass: 컨베이어 및 가이드 롤러
• Idle Roller 평탄도: +/- 25µm
• 측정Pos’ 평탄도: +/- 20µm
• Glass 위치 정확도: +/- 0.2mm