제품 개요
- 기능
• 4G~8G 유기 및 금속 증착 챔버
• 고진공 상태 Align, 유, 무기물 증기화, 성막 평가 설비

- 설비구성
• Platform
• Loading/Unloading(Load Lock)
• 무기증착 진공챔버(PM1)
• 유기증착 진공챔버(PM2)

제품 특장점
• Glass 공차: +/- 0.5mm
• Glass 적재 방법: 트레이 고정 유형(7-Glass/Tray)
• 트레이 스캔 유형:
최대 속도: 80mm/sec
정지 정확도: +/- 1mm
• 진공 펌프 어셈블리:
저 진공: 건식 펌프 (N2: 53,000ℓ/mm) 병합 L/L
고 진공: Cryo pump/22inch (N2: 11,500ℓ/sec)
• 최대 압력: ≤ 5.0x10E-7torr
• 배기 시간: ≤30 분 (디퓨저 사용시)
• 고 진공 밸브 크기: 22inch (Pendulum V/V)